據(jù)英國《金融時報》引述消息報道，中芯國際（00981.HK）正測試中國首款國產(chǎn)DUV光刻機(jī)，由上海初創(chuàng)公司宇量昇生產(chǎn)，采用的是浸沒式技術(shù)，類似于荷蘭光刻機(jī)巨頭艾司摩爾（ASML）的技術(shù)。
中芯股價曾升近7%
報道指出，中芯的試驗(yàn)初步結(jié)果令人鼓舞，但尚不清楚該款光刻機(jī)是否以及何時將用于大規(guī)模芯片制造。
受消息刺激，中芯股價曾升近7%，高見67.55元；暫報66.3元，升約半成。
編輯︱賀巧華
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